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荷兰 HIGH VOLTAGE 冷阴极离子源
HIGH VOLTAGE 冷阴极离子源MODEL SO-60
High Voltage 冷阴极离子源Model SO-60 主要特点
产生大量的带电荷离子
低功耗
使用寿命长
近光发射
束流范围为10 – 150 μA(用于单独充电离子), 1 – 15 μA (用于双电离子)
易于操作和维护
荷兰 HIGH VOLTAGE 冷阴极离子源 概述
SO-60 型冷阴极 penning 离子源是法兰克福 PIG 离子源的 HVEE 版本。SO-60离子源具有简单性、低功耗、长寿命和高产率的多电荷离子。这使得 SO-60 离子源非常适合常规需要大量多电荷离子的研究应用。
SO-60离子源的几何形状设计得无需热灯丝即可轻松维持低压等离子体。
电离室基本上由一个阳极圆柱体和两个面向阳极两端的阴极环组成。通过相对较高的放电电压和轴向磁场,产生等离子体,离子体通过其中一个阴极环从中提取离子。
这种高放电电压和低工作压力使SO-60离子源特别适用于从气体中产生多电荷离子。
每个 SO-60 离子源都包含满足第一需求的备件。
High Voltage Engineering 提供的其他类型的 pening 离子源包括:
用于固体材料
溅射的 SO-90 型溅射潘宁离子源 SO-100 型热阴极潘宁离子源
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