NONSEQUITUR 离子源离子枪 ION GUNS: MODEL 1401 5EV – 5KEV 气相离子源
Nonsequitur公司的Model 1401离子源离子枪非常适合用于表面化学实验，例如使用Auger 和ESCA进行样品制备和深度分析，可以用于惰性气体。
在工作距离为25毫米，束流大小为20安时,光斑为直径0.4毫米.相比较于其他的离子枪而言,离子枪型号1401能提供的电流密度是其他离子枪的1-倍。当束流为1 A时,光斑最小可以选择到50米电子束能量可以在范围5eV到5keV中选择,并同时保持样品的最佳聚焦。束流大小可以调节,并不受电子束能量的影响,无需外部设备,可以直接从前面板进行调节。
通过电子冲击来生成离子,双灯丝设计可以延长使用寿命,而无需中断设备的使用。离子源的真空灯丝处于离轴状态,以防止灯丝材料沉积到样品上。
离子源可以直接或通过单独的涡轮泵差动泵入系统，以提高系统真空。
带有电源和扫描电子设备的控制器安装在一个5-1/4英寸高的19英寸机架安装柜中。离子枪可以从前面板上控制，也可以通过一个灵活的界面来控制，该界面允许控制射束和聚焦电压、电离电流、气体、射束开/关以及光栅。光栅扫描是数字生成的，用于均匀的蚀刻速率。
NONSEQUITUR 离子源离子枪设计特点:
- 高电流密度15至50 mA/cm2，取决于所选的斑点尺寸。
- 稳定发射的离子源设计。
- 典型灯丝寿命大于500小时的双钨丝。氧化钇涂层铱可选。
- 可更换的光束微调孔，典型寿命> 500小时。
- 制造中使用的所有UHV兼容和抗蚀刻材料。
- 差动泵送使主室气体负荷最小化。
- 喷枪易于拆卸，便于维护。
- 电气连接和气体入口位于一个法兰上，便于安装。
- 预设提取和聚光透镜参数(三个光斑尺寸设置)，可重复操作。
- 整体束流测量。
- 离子源压力的直接测量。
- 系统和电缆联锁装置可防止在真空不良或电缆拆除的情况下激发高压。
- 单个5-1/4高19英寸机架安装外壳中的电源和光栅发生器。
- 用于均匀蚀刻轮廓的数字生成光栅选项。
- 计算机控制选项。
- 可选离子源压力调节。
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