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当前位置：首页  >  产品展示  >  分析仪器  >  离子枪  >  MODEL 145050KEV光斑可调节离子源

50KEV光斑可调节离子源

简要描述：50KEV光斑可调节离子源配备双灯丝可集成滤波器MODEL 1450，具有可调光斑尺寸≥5 μm，用于空间定义的溅射或注入发射调节轰击提供稳定的离子电流

  • 产品型号：MODEL 1450
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2024-08-17
  • 访  问  量：345
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50KEV光斑可调节离子源配备双灯丝可集成滤波器MODEL 1450


不平等离子枪离子源1450型设计特点


  • 可调光斑尺寸≥5 μm，用于空间定义的溅射或注入
  • 发射调节轰击提供稳定的离子电流
  • 连续可变束能量5kV至50kV
  • 用于光束扫描和散光校正的双八极杆
  • 缩小光斑尺寸的预物镜扫描
  • 灯丝不能直接对准样品，以免污染样品
  • 客户可更换的灯丝和光束微调孔
  • 双灯丝在灯丝寿命终止时提供操作支持
  • 制造中使用的所有UHV兼容和抗蚀刻材料
  • 差动泵送以最小化主室气体负载
  • 在惰性气体和氮气范围内运行

50KEV光斑可调节离子源离子源1450型选配

  • 用于氧气操作的氧化钍涂层铱丝
  • 可变孔径，光斑尺寸低至1um
  • 用于快速束脉冲的空白板
  • 与铯、锂、钠、钾等一起操作的碱金属源
  • 源烘箱允许产生可蒸发材料的离子

  • 集成文氏滤波器的信号源





  • 离子源（英文名称：Ion source）是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的部件。

  • 离子源是一门具有广泛应用领域的学科，在许多基础研究领域如原子物理、等离子化学、核物理等研究中，离子源都是十分重要的设备。



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